ULVAC 愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵原裝現(xiàn)貨

ULVAC 愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵原裝現(xiàn)貨
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過(guò)螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
在4種機(jī)型中，您可根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。

產(chǎn)品型號(hào)：UR421-T/UR600
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-05-16
訪問(wèn) 量：588

立即咨詢

聯(lián)系電話：

產(chǎn)品詳情

品牌	ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科	價(jià)格區(qū)間	2萬(wàn)-3萬(wàn)
儀器種類	真空泵	產(chǎn)品類型	無(wú)油泵
產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)林牧漁,建材/家具,綜合
供貨號(hào)	137.1702.5688

ULVAC 愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵原裝現(xiàn)貨

特點(diǎn)
高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對(duì)策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規(guī)格

型號(hào)		UR421-T	UR600	UR1200	UR1800	UR3601-TT
使用泵	干式真空泵	UR421-T	UR90	UR90	UR180	UR421-T
	機(jī)械增壓泵	-	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C-T
最大排氣速度	50Hz	410 m³/h (6833 L/min)	653 m³/h (10883 L/min)	1012 m³/h (16867 L/min)	1701 m³/h (28350 L/min)	2700 m³/h (45000 L/min)
到達(dá)壓力		5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)		VG100	VG80(NW80)	VG100(NW100)	VG150(NW100)	VG150
排氣口		VG50	NW40			NW50
質(zhì)量		415 kg	370 kg	403 kg	553 kg	720 kg
電源 *2	三相	180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)	200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)			180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz)
電流值	穩(wěn)定時(shí)	23 A(at 200V)	16.4 A(at 200V)	18.9 A(at 200V)	29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)	39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V)
	最大值	52.5 A(at 200V)	17.3 A(at 200V)	22. 4 A(at 200V)	34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)	68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力		0.2~0.5 Mpa	0.1~0.3 Mpa			0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差		>0.2 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.1 Mpa	>0.2 Mpa